Белоус И.А., Доценко В.А. Автоматизированная установка для исследования магнитооптических свойств тонких пленок металлов in situ
- Подробности
- Просмотров: 1096
http://dx.doi.org/10.15688/jvolsu1.2016.2.7
Игорь Александрович Белоус
Кандидат физико-математических наук, доцент кафедры информационных технологий и систем,
Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
ул. Гоголя, 41, 690014 г. Владивосток, Российская Федерация
Валентин Антонович Доценко
Кандидат технических наук, доцент кафедры информационных технологий и систем,
Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
valentin.doс
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
ул. Гоголя, 41, 690014 г. Владивосток, Российская Федерация
Аннотация. Описана автоматизированная установка для исследования магнитооптических свойств тонких пленок металлов in situ. Представлены технические характеристики и основные параметры установки. Приведены результаты исследования магнитооптических свойств образца, с предварительно напыленной in situ пленкой Fe толщиной около 100 Å, на подложке Si(111).
Разработанная автоматизированная система позволяет повысить точность, скорость и надежность при измерениях магнитооптических свойств тонких пленок в сверхвысоком вакууме.
Ключевые слова: метод поверхностного магнитооптического эффекта Керра, тонкие пленки, вакуумный модуль, автоматизация измерений, измерительная система.
Произведение «Автоматизированная установка для исследования магнитооптических свойств тонких пленок металлов in situ» созданное авторами по имени Белоус И.А., Доценко В.А., публикуется на условиях лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.