Адамов А.А., Храмов В.Н. Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок

Рейтинг:   / 1
ПлохоОтлично 
Подробности
Просмотров: 721

https://doi.org/10.15688/mpcm.jvolsu.2017.4.8

Антон Андреевич Адамов
Аспирант кафедры лазерной физики,
Учебный мастер кафедры радиофизики,
Волгоградский государственный университет
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. , Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
просп. Университетский, 100, 400062 г. Волгоград, Российская Федерация

Владимир Николаевич Храмов
Кандидат физико-математических наук, доцент,
заведующий кафедрой лазерной физики,
Волгоградский государственный университет
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. , Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
просп. Университетский, 100, 400062 г. Волгоград, Российская Федерация

Аннотация. Рассмотрена задача определения толщины тонких пленок методом лазерной триангуляции. Получено выражение, связывающее значение толщины пленки и координаты лучей на фотоприемнике. Экспериментально показана возможность применения данного метода для измерения толщин в диапазоне [0,1;1] мм. Полученные результаты могут быть использованы в офтальмологии для экспресс-диагностики во время проведения операций на роговичном слое.

Ключевые слова: лазерная триангуляция, толщина, тонкая пленка, ПЗС-матрица, показатель преломления, погрешность измерения.

Лицензия Creative Commons
Произведение «Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок», созданное авторами по имени Адамов А.А., Храмов В.Н., публикуется на условиях лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Цитата: Математическая физика и компьютерное моделирование. Том 20 № 4 2017, с. 83-94

Вложения:
Скачать этот файл (Adamov_Hramov.pdf) Adamov_Hramov.pdf
URL: https://mp.jvolsu.com/index.php/ru/component/attachments/download/745		527 Скачивания