Адамов А.А., Храмов В.Н. Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок
Рейтинг:
/ 1
- Подробности
- Просмотров: 850
https://doi.org/10.15688/mpcm.jvolsu.2017.4.8
Антон Андреевич Адамов
Аспирант кафедры лазерной физики,
Учебный мастер кафедры радиофизики,
Волгоградский государственный университет
anto-kha1@mail.ru,
lf@volsu.ru
просп. Университетский, 100, 400062 г. Волгоград, Российская Федерация
Владимир Николаевич Храмов
Кандидат физико-математических наук, доцент,
заведующий кафедрой лазерной физики,
Волгоградский государственный университет
vladimir.khramov@volsu.ru,
lf@volsu.ru
просп. Университетский, 100, 400062 г. Волгоград, Российская Федерация
Аннотация. Рассмотрена задача определения толщины тонких пленок методом лазерной триангуляции. Получено выражение, связывающее значение толщины пленки и координаты лучей на фотоприемнике. Экспериментально показана возможность применения данного метода для измерения толщин в диапазоне [0,1;1] мм. Полученные результаты могут быть использованы в офтальмологии для экспресс-диагностики во время проведения операций на роговичном слое.
Ключевые слова: лазерная триангуляция, толщина, тонкая пленка, ПЗС-матрица, показатель преломления, погрешность измерения.
Произведение «Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок», созданное авторами по имени Адамов А.А., Храмов В.Н., публикуется на условиях лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Цитата: Математическая физика и компьютерное моделирование. Том 20 № 4 2017, с. 83-94
 Adamov_Hramov.pdfURL: https://mp.jvolsu.com/index.php/ru/component/attachments/download/745 | 601 Скачивания |